半导体存储器生产系统和半导体存储器生产方法

摘要

一种半导体存储器生产系统,其用少量信息按时间顺序保存每个批次的工艺分析所需要的数据,并可根据已事先储存的数据进行生产管理而不用执行新的测量。该系统包括:LSI测试装置1,其测试半导体存储器并输出各芯片的存储单元地址及与这些地址对应的合格/故障位图;工艺缺陷估计装置34,从位图中提取位地址,并确定要替换字线和位线的替换地址,和估计工艺缺陷。将估计结果反馈至生产线/加工步骤,可防止频繁地生产出次品。

主权项

1．一种半导体存储器生产系统，包括：晶片生产线，用于在晶片上用多种晶片生产装置生产多个半导体存储器芯片；晶片测试装置，用于测试所述芯片的电气特性；替换地址确定装置，用于根据所述晶片测试装置的测试结果确定在所述半导体存储器中安装的冗余存储器中的替换地址；估计部，用于根据所述替换地址的统计处理结果估计故障的成因；其中在所述晶片生产线上识别出造成故障的晶片生产装置，并且消除故障成因。