| 摘要 |
<p>멀티노즐 헤드가 개시된다. 개시된 멀티노즐 헤드는, 프레임과; 상기 프레임에 회전 및 승강 가능하게 설치된 복수개의 회전축과, 상기 각 회전축의 단부에 노즐을 구비하는 복수개의 노즐 유니트와; 상기 프레임에 설치되어 상기 회전축에 흡착된 부품을 비접촉하여 정렬하는 정렬모듈을 구비한 정렬수단과; 상기 노즐 유니트의 회전축을 승강시키는 회전축 승강수단과; 상기 각 프레임을 서브 프레임에 대해 승강시키는 프레임 승강수단;을 포함하는 것을 그 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 비접촉식 레이저 정렬모듈을 노즐 유니트에 각각 설치하므로서 노즐에 흡착되어 소정의 기판에 장착되는 부품에 손상을 주지 않는 이점이 있다.</p> |
