| 摘要 |
<p>본 발명은 내부에 형성된 개구부를 갖는 유전체층을 구비한 집적회로에 있어서의 합금 상호연결부 형성 방법을 제공한다. 적합한 실시예에 있어서, 상기 방법은 상기 개구부 내에 금속 합금을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 금속 합금은 적어도 제 1 및 제 2 금속을 포함하며, 상기 제 1 금속은 13족에서 선택되며, 제 2 금속 및 유전체의 융점보다 상당히 낮은 융점을 갖는다. 이와 같은 특수 방법은 상기 제 1 및 제 2 금속을 제 1 금속을 충분히 용해시킬 수 있는 온도하에 종속시키는 단계를 부가로 포함하며, 상기 금속 합금을 재유동(reflow)시킨다.</p> |
