氮化硅烧结体的制造方法

摘要

一种制造氮化硅烧结体的方法，包括在一个温度范围内对氮化硅烧结体的坯料进行热处理，该温度范围从坯料的内摩擦达到最大峰值时的温度－１５０℃至该温度＋１５０℃。一种用于本发明的代表性的坯料是这样来制得的：将氮化硅粉末与助烧剂粉末混合，得到的粉末混合物含５—１５％（重量）（以氧化物计）的至少一种选自由稀土元素和铝组成一组的元素，０．５—５％（重量）（以氧化物计）选自由Mg、Ti和Ca组成一组的元素，以及余量的Si＃-[3]N＃-[４]，将粉末混合物成型，在含氮气氛中于１５００—１７００℃烧结所得素坯。

主权项

1．一种制造氮化硅烧结体的方法，其特征在于氮化硅烧结体坯料在一个温度范围进行热处理，该温度范围是从坯料内摩擦达到峰值时的温度-150℃至该温度+150℃，其中热处理是通过将坯料在一种非还原性气氛中在上述温度范围内保持5-600分钟来进行的。