发明名称 Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof
摘要
申请公布号 EP0712021(B1) 申请公布日期 2001.09.26
申请号 EP19950116566 申请日期 1995.10.20
申请人 DAEWOO ELECTRONICS CO., LTD 发明人 MIN, YONG-KI
分类号 B81B3/00;G02B5/09;G02B5/10;G02B7/18;G02B26/08;G09F9/37;H04N5/74;H04N9/30;(IPC1-7):G02B26/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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