发明名称 |
Array of thin film actuated mirrors and method for the manufacture thereof |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0712021(B1) |
申请公布日期 |
2001.09.26 |
申请号 |
EP19950116566 |
申请日期 |
1995.10.20 |
申请人 |
DAEWOO ELECTRONICS CO., LTD |
发明人 |
MIN, YONG-KI |
分类号 |
B81B3/00;G02B5/09;G02B5/10;G02B7/18;G02B26/08;G09F9/37;H04N5/74;H04N9/30;(IPC1-7):G02B26/08 |
主分类号 |
B81B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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