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发明名称 TEXTURED BI-BASED OXIDE CERAMIC FILMS
摘要
申请公布号 EP1135797(A1) 申请公布日期 2001.09.26
申请号 EP19990963947 申请日期 1999.11.22
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 DESROCHERS, CHRISTOS, DEBRA A.;HENDRIX, BRYAN, C.;ROEDER, JEFFREY, F.;HINTERMAIER, FRANK, S.
分类号 C04B35/00;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
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