| 发明名称 |
IMPROVED DEFECT MAPPING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0700512(B1) |
申请公布日期 |
2001.09.26 |
| 申请号 |
EP19940916727 |
申请日期 |
1994.05.10 |
| 申请人 |
MIDWEST RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
SOPORI, BHUSHAN, L. |
| 分类号 |
G01N21/47;G01N21/84;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/47;G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/47 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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