| 发明名称 |
PROVIDING DUAL WORK FUNCTION DOPING |
| 摘要 |
<p>본 발명은 이중 일함수 도핑(dual work function doping)에 관한 것으로, 그 상단에 자기정렬된 절연층을 가지는 게이트 구조들 중에서 선택된 게이트 구조를 그것의 적어도 하나의 측벽을 통해서 제 1 도전형으로 도핑함으로써 게이트 구조의 어레이를 제공한다. 이 게이트 구조에서 일부는 제 1 도전형으로 도핑되고 다른 일부는 제 2 도전형으로 도핑된다.</p> |
| 申请公布号 |
KR100303410(B1) |
申请公布日期 |
2001.09.26 |
| 申请号 |
KR19990000192 |
申请日期 |
1999.01.02 |
| 申请人 |
null, null |
发明人 |
브로너게리베라;겜비노제프리피.;맨델맨잭에이.;레이든스칼제이.;톤티윌리암로버트 |
| 分类号 |
H01L21/225;H01L21/28;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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