| 摘要 |
<p>1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 본 발명은 반도체 제조 공정의 네트웍 통신시스템에서 오류 발생 로트의 제어 장치 및 방법에 관한 것임. 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 본 발명은, 오류 발생 로트의 보류 및 통보를 일괄적으로 실행하는 오류발생 로트의 제어 장치 및 방법을 제공하고자 함. 3. 발명의 해결방법의 요지 본 발명은, 로트 자체의 문제, 공정상의 문제 및 장비의 문제에 의해 오류가 발생한 로트에 대한 보류 및 오류발생 통보를 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템에 의해 한 번에 일괄적으로 수행하고, 오류발생 로트에 대한 조치를 네트웍 통신시스템으로 오퍼레이터에게 전송한다. 4. 발명의 중요한 용도 본 발명은 오류 발생 로트의 제어에 이용됨.</p> |
