| 发明名称 |
High target utilisation sputtering system with remote plasma source |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2360530(A) |
申请公布日期 |
2001.09.26 |
| 申请号 |
GB20000007173 |
申请日期 |
2000.03.25 |
| 申请人 |
* PLASMA QUEST LTD;* PLASMA QUEST LTD |
发明人 |
PETER JOHN * HOCKLEY |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/35;C23C14/46;H01C17/10;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
