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发明名称
摘要
申请公布号	JP2001516502(A)	申请公布日期	2001.09.25
申请号	JP19980537537	申请日期	1998.02.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/673;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/68	主分类号	H01L21/673
代理机构		代理人
主权项
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