| 摘要 |
<p>본 발명은, 세라믹 기재와의 밀착성이 우수한 플루오르화물 표면층을 구비하며, 할로겐계 부식성 가스 플라즈마에 대하여 높은 내식성을 나타내는 내식성 세라믹 부재를 제공하는 것을 목적으로 한다. 세라믹으로 이루어진 기재 상에 플루오르화물 표면층이 형성되어 있는 본 발명의 세라믹 부재는, 상기 기재와 상기 플루오르화물 표면층 사이에, 상기 세라믹과 플루오르화물로 이루어진 중간층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 내식성 세라믹 부재이다. 상기 중간층은 주로, 세라믹 소결체를 플루오르화수소산에 침지시켜 가열 처리를 행함으로써, 플루오르화물 표면층과 동시에 형성한다.</p> |
