| 摘要 |
<p>본 발명은 씨엠피 연마용 캐리어의 조립 장치 및 방법에 관한 것으로, 연마용 캐리어를 구성하는 리테이너 링과 웨이퍼의 단차 높낮이를 균일하게 유지하는 캐리어 제작 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 캐리어 제작 장치는 캐리어를 올려 놓고 제작하기 위한 회전할 수 있는 원통형 테이블과, 캐리어를 구성하는 리테이너 링과 웨이퍼 표면의 단차를 측정하여 유지하기 위한 측정 수단과, 측정 수단을 X, Y 축 방향으로 이동시키기 위한 지지 수단 및 이동 레일을 구비한다. 그 결과, 본 발명은 균일한 단차 높낮이를 지니는 양호한 캐리어를 제작함으로써, 균일한 씨엠피 연마 공정을 수행할 수 있으며 씨엠피 연마 도중 웨이퍼 균열을 방지할 수 있다.</p> |
