改善晶圆清洗制程之晶舟载具构造之改良

摘要

本发明揭露一种改善晶圆清洗制程之晶舟载具构造之改良。该载具包含一提供机器手臂固持之支撑架，及支撑架两侧的二相对之悬挂部，悬挂部具有固定机构提供晶舟的端缘部悬吊。本发明将承载晶舟的载具结构予以简化，以减少载具表面在晶圆浸洗的过程中因吸附与残留化学药品的量，进而缩短晶圆浸洗的时间，提升晶圆清洗的效率。

主权项

1.一种晶圆清洗制程使用之载具,用以承载提供装载晶圆之晶舟,该载具包含:一支撑架;以及二相对之悬挂部,位于该支撑架底部,该悬挂部形成有固定机构提供悬挂该晶舟。2.如申请专利范围第1项所述之载具,其中该固定机构为一凹槽。图式简单说明:第一图及第二图显示习知技术中利用清洗槽洗净晶圆之示意图,并藉以说明过程中所使用的设备结构。第三图提供本发明一较佳实施例。第四图显示利用第三图所示装置承载晶舟之示意图。第五图系一比对试验的结果,分别显示习知技术与根据本发明提供之载具对于晶圆水洗作业的影响。