| 主权项 |
1.一种流体可变型流量控制装置,主要为保持孔口上流侧压力P1于下流侧压力P2之约2倍以上来控制流体之流量者,其特征为:由为了因应于流体之种类或流量范围来设定适宜之孔口直径(口径)而所配设之变换自如之孔口;配设于该上流侧之控制阀;配设于控制阀和孔口之间的压力侦测器6;从该压力侦测器之侦测压力P1来运算流量做为Qc=KP1(K为常数)用之流量运算电路14;输出流量设定信号Qe之流量设定电路;为了切换(转换)满刻度流量而变换运算流量信号Qc为切换运算流量信号Qf的流量变换电路18;及将该切换运算流量信号Qf和流量设定信号Qe之差做为控制信号Qy来输出给予控制阀之驱动部的运算控制电路所构成,而以开闭控制阀来使控制信号Qy成为零,以控制孔口下流侧流量者。2.如申请专利范围第1项之流体可变型流量控制装置,其中前述流量变换电路18做成为对于运算流量Qc予以乘流量变换率K来变换成切换运算流量信号Qf(Qf=KQc)者。3.如申请专利范围第1项之流体可变型流量控制装置,其中流量变换电路乃做成为要调整压力侦测器之输出放大器之放大率用之电路者。4.如申请专利范围第1或2项之流体可变型流量控制装置,其中将流量变换电路18以行列直插式封装开关(Dualin-line package switch)来构成者。5.一种流体可变型流量控制装置,主要为保持孔口上流侧压力P1于下流侧压力P2之约2倍以上来控制流体之流量者,其特征为:由为了因应于流体之种类或流量范围来设定适宜之孔口直径(口径)而所配设之变换自如之孔口;配设于该上流侧之控制阀;配设于控制阀和孔口之间的压力侦测器6;从该压力侦测器之侦测压力P1来运算流量做为Qc=KP1(K为常数)用之流量运算电路14;输出流量设定信号Qe之流量设定电路16;为了切换满刻度流量而变换流量设定信号Qe为流量命令信号Qs用的流量变换电路18;及将该流量命令信号Qs和运算流量Qc之差做为控制信号Qy来输出给予控制阀之驱动部的运算控制电路20所构成,而以开闭控制阀来使控制信号Qy成为零,以控制孔口下流侧流量者。6.如申请专利范围第5项之流体可变型流量控制装置,其中前述流量变换电路18乃做成为以对于流量设定信号Qe予以乘流量变换率K来变换成流量命令信号Qs(Qs=KQe)者。图式简单说明:第一图系显示有关本发明流体可变型流量控制装置FCS之可使用之例子之一者,且显示以使用一部之FCS来供应复数流体之状况者。第二图系有关本发明之第1实施形态之流体可变型流量控制装置的方块结构图。第三图系有关本发明之第2实施形态之流体可变型流量控制装置的方块结构图。第四图系对于同一流体实施变更满刻度流量之说明图。第五图系有关本发明之第2实施形态的流体可变型流量控制装置之第2实施例的方块结构图。第六图系显示孔口之装配构造的一例子之主要部分剖面图。第七图系有关习知例之半导体制造装置用的高纯度水分产生装置之配置图。 |
