| 发明名称 |
Verfahren zum Erzeugen mindestens zweier dicht nebeneinanderliegender Elektroden aufHalbleiterkoerpern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1222168(B) |
申请公布日期 |
1966.08.04 |
| 申请号 |
DE1963S084300 |
申请日期 |
1963.03.22 |
| 申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
FRODL OTTO;MEER DIPL.-PHYS. WINFRIED |
| 分类号 |
C23C14/04;H01L21/00;H01L23/482 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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