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发明名称
VERGRÖSSERUNGSKORREKTURSYSTEM FÜR DIE ABTASTUNG EINES KLEINEN FELDES
摘要
申请公布号
DE69613218(T2)
申请公布日期
2001.09.20
申请号
DE19966013218T
申请日期
1996.03.19
申请人
ETEC SYSTEMS, INC.
发明人
ALLEN, C.;VOISIN, D.
分类号
G02B13/08;G02B15/14;G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/08
主分类号
G02B13/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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