发明名称 EXPOSURE DEVICE AND METHOD FOR COMPENSATING OPTICAL DEFECTS
摘要 <p>Eine Belichtungsvorrichtung zur Belichtung eines Abbilds einer elektronisch gespeicherten Vorlage auf eine Unterlage, insbesondere Druckplatte (1), mit einer Bildverarbeitungselektronik (2), in der die Bilddaten speicherbar sind, mit einem durch die Bildverarbeitungselektronik (2) elektronisch ansteuerbaren Lichtmodulator (7), insbesondere einem LCD-Bildschirm (7) oder einer Mikrospiegelanordnung, mit einer Beleuchtungseinrichtung (8, 9) zur Beleuchtung des Lichtmodulators (7) und mit einer Abbildungsoptik (11) zur Abbildung des Lichtmodulators (7) auf die Unterlage (1) wird erfindungsgemäss dadurch verbessert, dass die Bildverarbeitungselektronik (2) eine Kompensationseinrichtung (4, 5) zur Kompensation von optischen Fehlern und/oder Toleranzen im Strahlengang der Belichtungsvorrichtung umfasst.</p>
申请公布号 WO2001069320(A2) 申请公布日期 2001.09.20
申请号 EP2001002591 申请日期 2001.03.08
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
地址