发明名称 Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Strukturen mittels eines Ätzprozesses
摘要
申请公布号 DE19904307(C2) 申请公布日期 2001.09.20
申请号 DE19991004307 申请日期 1999.01.28
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 KUMMER, NILS;MUELLER-FIEDLER, ROLAND;BREITSCHWERDT, KLAUS;MUELLER, ANDRE;DRIEWER, FRAUKE;KERN, ANDREAS
分类号 G02B3/00;B81C1/00;(IPC1-7):H01L21/308;C23F4/00 主分类号 G02B3/00
代理机构 代理人
主权项
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