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发明名称 AUTOMATED OPENING AND CLOSING OF ULTRA CLEAN STORAGE CONTAINERS
摘要
申请公布号 EP1133440(A1) 申请公布日期 2001.09.19
申请号 EP19990930391 申请日期 1999.06.17
申请人 GENMARK AUTOMATION, INC. 发明人 GENOV, GENCO;BOTEV, ROUMEN G.;TODOROV, ALEXANDER D.
分类号 G03F1/14;B65G49/06;B65G49/07;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/05 主分类号 G03F1/14
代理机构 代理人
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