| 发明名称 |
Method of analyzing water-soluble contaminants in a semiconductor clean room and apparatus therefor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2325742(B) |
申请公布日期 |
2001.09.19 |
| 申请号 |
GB19980000880 |
申请日期 |
1998.01.16 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS COMPANY LIMITED |
发明人 |
NAM-HEE * YOU;DONG-SOO * LEE;SUN-YOUNG * LEE;JUNG-SUNG * HWANG |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N1/22;G01N1/24;G01N1/34;G01N30/04;G01N30/88;G01N33/00;H01L21/02;(IPC1-7):G01N1/22 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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