同步辐射X射线多层膜反射率计装置

摘要

一种同步辐射X射线多层膜反射率计装置,采用单块多层膜反射镜作为色散元件,装置主体由两台Bragg衍射仪构成统一体,单色器和随动摇臂构成第一个衍射仪,所述单色器与随动摇臂构成二倍角关系;样品和探测器构成第二衍射仪,所述样品与探测器也构成二倍角关系。使用单块多层膜反射镜使单色器系统大大简化,同时使得光源传输效率及光通量大大增加,由于整套机构处于同一个真空腔体中,使得结构更加紧凑,整个工程造价也大大降低。

主权项

1．一种同步辐射X射线多层膜反射率计装置，包括X射线光源、色散元件、狭缝、样品和探测器，其特征在于，该色散元件采用单块多层膜反射镜。