光电子学的金属基本组成部件

摘要

本发明涉及一种制作金属基本组成部件图案的方法和一种金属基本组成部件,所实现的测量精度在亚微米范围内。从硅母体开始,对所述硅母体以亚微米精度蚀刻并且然后在硅表面上电镀例如镍之类的金属,由此能形成精度和表面光洁度仍然在亚微米范围的镍薄垫片。在除去硅母体之后,可使用液体形式或薄膜形式的感光材料(5)形成向下到达镍薄垫片的模腔。然后金属电镀这些腔以形成高精度的三维基本组成部件(8)。

主权项

1．一种给提供具有图案的基本组成部件的方法，所述基本组成部件如具有例如光纤专用槽之类的图案的载体，其特征在于金属电镀制有图案的硅板；蚀刻硅板；给形成的金属图案涂上感光材料；用光掩膜和光能确定金属图案的界限，从而形成腔；金属电镀形成的腔，以形成包括例如槽之类的图案的金属基本组成部件；其中为了专用作光纤载体或微型结构基本组成部件，所述基本组成部件可与金属分开，可再产生和再使用所述腔以形成新的基本组成部件。