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发明名称 Radiation-sensitive resin composition
摘要
申请公布号 EP1122605(A3) 申请公布日期 2001.09.19
申请号 EP20010102326 申请日期 2001.02.01
申请人 JSR CORPORATION 发明人 NUMATA, JUN;SUZUKI, AKI;HARA, HIROMICHI;NATSUME, NORIHIRO;MURATA, KIYOSHI;YAMAMOTO, MASAFUMI;SOYANO, AKIMASA;KAJITA, TORU;SHIMOKAWA, TSUTOMU
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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