| 发明名称 |
ALUMINIUM COMPLEX DERIVATIVES FOR CHEMICAL VACUUM EVAPORATION AND THE METHOD OF PRODUCING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG83121(A1) |
申请公布日期 |
2001.09.18 |
| 申请号 |
SG19990001666 |
申请日期 |
1999.04.13 |
| 申请人 |
ROHM AND HAAS COMPANY |
发明人 |
SHIN HYUN-KOOCK;SHIN HYUN-JOO |
| 分类号 |
H01L23/52;C07F5/06;C23C16/20;H01L21/3205;(IPC1-7):C07F5/06;C23C16/18 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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