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发明名称
摘要
申请公布号	JP2001515606(A)	申请公布日期	2001.09.18
申请号	JP19980539133	申请日期	1998.02.26
申请人		发明人
分类号	C08K5/00;C08L61/06;C08L101/12;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004	主分类号	C08K5/00
代理机构		代理人
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