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发明名称
摘要
申请公布号	JP3209268(B2)	申请公布日期	2001.09.17
申请号	JP19980240525	申请日期	1998.08.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/8234;H01L27/088;H01P5/02;H01P5/12;H03F3/60;H03F3/68;(IPC1-7):H03F3/60	主分类号	H01L21/8234
代理机构		代理人
主权项
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