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发明名称
摘要
申请公布号 JP3210657(B2) 申请公布日期 2001.09.17
申请号 JP19890304814 申请日期 1989.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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