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发明名称
摘要
申请公布号	JPS4834068(B1)	申请公布日期	1973.10.18
申请号	JP19690056304	申请日期	1969.07.17
申请人		发明人
分类号	H01L29/73;H01L21/225;H01L21/331	主分类号	H01L29/73
代理机构		代理人
主权项
地址

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