发明名称 AN ELECTRON BEAM COATING DEPOSITION APPARATUS BY VAPOR PHASE CONDENSATION (VARIANTS)
摘要
申请公布号 UA72742(C2) 申请公布日期 2001.09.17
申请号 UA20010042222 申请日期 2000.08.03
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 EWANCJOHN DOUGLAS, SENIOR
分类号 C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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