发明名称 Verfahren zur Herstellung von extrem reinem Halbleitermaterial, insbesondere Silizium
摘要
申请公布号 CH426744(A) 申请公布日期 1966.12.31
申请号 CH19600014192 申请日期 1960.12.19
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DR. SCHINK,NORBERT,DIPL.-CHEM.;ROSE,HILDE
分类号 C23C16/24 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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