发明名称 Verfahren zum Herstellen von dünnen, einkristallinen halbleitenden Schichten
摘要
申请公布号 CH426745(A) 申请公布日期 1966.12.31
申请号 CH19610011398 申请日期 1961.10.02
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ZIEGLER,GUENTHER,DR.;SIRTL,ERHARD,DR.
分类号 C30B11/12;C30B29/64;H01B1/00;H01L21/00 主分类号 C30B11/12
代理机构 代理人
主权项
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