| 发明名称 |
PLANARISIERUNGVERFAHREN FÜR INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT205334(T) |
申请公布日期 |
2001.09.15 |
| 申请号 |
AT19930912620T |
申请日期 |
1993.06.24 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
AUER, STEFAN;KOHLHASE, ARMIN;MELZNER, HANNO |
| 分类号 |
H01L21/8242;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/8242 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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