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发明名称 VORRICHTUNG ZUR CHEMISCHEN DAMPFABSCHEIDUNG BEI NIEDRIGEM DRUCK
摘要
申请公布号 AT205263(T) 申请公布日期 2001.09.15
申请号 AT19950309190T 申请日期 1995.12.18
申请人 HWANG, CHUL-JU 发明人 HWANG, CHUL-JU
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/50;C23C16/509;C30B25/12;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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