发明名称 Table X-Y pour déplacer une charge, telle qu'un outil, selon deux directions perpendiculaires.
摘要
申请公布号 CH691719(A5) 申请公布日期 2001.09.14
申请号 CH19970000845 申请日期 1997.04.11
申请人 ETEL S.A. 发明人 WAVRE NICOLAS
分类号 H01L21/68;G05D3/00;H01L21/52;H01L21/60;H02K41/03;(IPC1-7):H02K41/02;B23Q1/62 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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