发明名称 FELD AUS INTEGRIERTEN MIKROMECHANISCHEN STRAHLUNGSSENSOREN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 DE69231990(D1) 申请公布日期 2001.09.13
申请号 DE19926031990 申请日期 1992.06.11
申请人 HONEYWELL, INC. 发明人 HIGASHI, E.;JOHNSON, G.
分类号 G01J1/02;G01J5/02;G01J5/20;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/146;H01L27/16;H01L31/08;H01L37/02;(IPC1-7):H01L31/08 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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