发明名称 |
Verfahren zum Herstellen von multifunktionellen, monolithisch-integrierten Schaltungsanordnungen |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE69522075(D1) |
申请公布日期 |
2001.09.13 |
申请号 |
DE19956022075 |
申请日期 |
1995.09.26 |
申请人 |
TRW INC., REDONDO BEACH |
发明人 |
STREIT, DWIGHT C.;UMEMOTO, DONALD K.;OKI, AARON K.;KOBAYASHI, KEVIN W. |
分类号 |
H01L29/872;H01L21/203;H01L21/331;H01L21/338;H01L21/8222;H01L21/8232;H01L21/8248;H01L21/8252;H01L27/06;H01L27/095;H01L29/205;H01L29/47;H01L29/73;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L27/06;H01L21/825 |
主分类号 |
H01L29/872 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|