| 摘要 |
<p>본 발명은 청정실 내에서 발생하거나 외부로부터 유입되는 미세 입자의 오염측정에 기준이 되는 비활성 잔유물을 측정하여 청정실 내에 잔류하는 먼지의 량을 측정할 수 있도록 비활성 잔유물의 측정장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 비활성 잔유물의 측정장치는 청정도가 100이하로 유지되는 클린벤치와, 청정용 헝겊을 초순수(De ionized Water)를 가열한 세척조에 넣고 초음파 세척하는 초음파 세척기와, 클린벤치 내에서 청정용 헝겊을 증류건조시키는 시험용 헝겊 준비장치와, 청정실 내에 방치되어 비활성 잔유물을 채집하는 스테인레스 스틸판과, 시험용 헝겊 준비장치에서 준비된 시험용 헝겊으로 스테인레스 스틸판을 닦아 비활성 잔유물의 량을 측정하는 초정밀저울을 구비시킴으로써 이루어진다.</p> |
