| 主权项 |
1.一种使半导体制程装置中输出阻抗及输入阻抗之间的匹配网路最佳化之方法,包括步骤如下:提供一能经由重覆学习而被训练的神经网路;从先前执行的程序条件来训练神经网路;设定初始値;将初始値与理论计算値比较来获得这些値之间的误差;以及重覆训练,设定及比较步骤直到误差为零。2.如申请专利范围第1项之方法,其中此装置为乾蚀刻器,此输出阻抗为电源,而此输入阻抗为真空腔。3.如申请专利范围第2项之方法,其中训练步骤的制程条件包括电源、反应气体流速、真空腔压力及施加的高周波。图式简单说明:第一图系解释电源及真空腔室之间的阻抗匹配方块图。第二图A及第二图B为根据本发明实施例神经网路之示意图。第三图系根据本发明实施例训练神经网路之回馈网路示意图。第四图系产生参考初始値之示意图。 |
