| 主权项 |
1.一种供光罩防尘保护用之框支持膜,该光罩系于 光石印图型化工程中使用者,框支持膜包含: (a)一个由硬质材料制成而具有两平行端表面之膜 框(1); (b)一个由塑性树脂膜制成之透光薄膜(2),以不松弛 的方式铺设并黏着结合于膜框的一端表面;以及 (c)一层形成在膜框另一端表面上的压敏黏着剂层( 3), 其特征为该黏着剂层(3)系向外凸出于欲黏着至光 罩(5)之部分上,以致其黏着剂层之剖面成为一小于 或等于半圆形之圆弧状。 其特点包含,使压敏黏着剂层表面向外凸出。2.如 申请专利范围第1项之框支持膜,其中形成在膜框 端表面上的压敏黏着剂层之剖面成桶状圆顶形轮 廓。3.如申请专利范围第2项之框支持膜,其中形成 在膜框端表面上的压敏黏着剂层之剖面成桶状圆 顶形轮廓,其中间宽度(为该层从与膜枢接触之表 面算起最大高度之90%高度处测量所得之宽度),在 基层宽的80%至95%范围内。4.一种供光罩防尘保护 用之框支持膜,该光罩系于光石印图型化工程中使 用者,框支持膜包含: (a)一个由硬质材料制成而具有两平行端表面之膜 框; (b)一个由塑性树脂膜制成之透光薄膜,以不松弛的 方式铺设并黏着结合于膜框的一端表面;以及 (c)一层形成在膜框另一端表面上的压敏黏着剂层, 其特点包含,使压敏黏着剂层表面向外凸出,且使 膜框设有至少一个空气逸路开口,并将开口以灰尘 粒子不能透过的透气滤片加以覆盖。5.如申请专 利范围第4项之框支持膜,其中形成在膜框端表面 上的压敏黏着剂层之剖面成桶状圆顶形轮廓。6. 如申请专利范围第5项之框支持膜,其中形成在膜 框端表面上的压敏黏着剂层之剖面成桶状圆顶形 轮廓,其中间宽度(为该层从与膜枢接触之表面算 起最大高度之90%高度处测量所得之宽度),在基层 宽的40%至95%范围内。图式简单说明: 第一图为本发明之框支持膜的放大部份剖面图,其 具有一个剖面呈桶状圆顶形的压敏黏着剂层,且由 一个可剥除片予以暂时保护。 第二图为第一图所示本发明之框支持膜安装于光 罩上时的放大部份剖面图。 第三图为习知具有平坦表面之压敏黏着剂层之框 支持膜的放大部份剖面图,由一个可剥除片予以暂 时保护。 第四图为第三图所示习知框支持膜安装于光罩上 时的放大部份剖面图。在压敏黏着剂层与光罩表 面之间形成有一个气室。 第五图为本发明之膜框与压敏黏着剂层的放大部 份剖面图,用以说明黏着层表面的曲率。 |
