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发明名称
摘要
申请公布号 JP3206308(B2) 申请公布日期 2001.09.10
申请号 JP19940157200 申请日期 1994.07.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/82;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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