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发明名称
摘要
申请公布号 JP3208044(B2) 申请公布日期 2001.09.10
申请号 JP19950166865 申请日期 1995.06.07
申请人 发明人
分类号 C23C16/50;C23C16/509;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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