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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD FOR METAL OXIDE DIELECTRIC FILM AND VAPOR GROWTH DEVICE FOR METAL OXIDE DIELECTRIC MATERIAL
摘要
申请公布号 KR20010085328(A) 申请公布日期 2001.09.07
申请号 KR1020017001504 申请日期 2001.02.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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