发明名称 VOLTAGE-CYCLING RECOVERY OF PROCESS-DAMAGED FERROELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 KR20010085626(A) 申请公布日期 2001.09.07
申请号 KR1020017002441 申请日期 2001.02.26
申请人 发明人
分类号 H01L27/105 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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