| 发明名称 |
REDUCED DEGRADATION OF METAL OXIDE CERAMIC DUE TO DIFFUSION OF A MOBILE SPECIE THEREFROM |
| 摘要 |
금속 산화물 세라믹으로부터 과잉 모빌 스피시의 확산 감소는 조성 및/또는 증착 파라미터를 조절함으로써 달성된다. 과잉 모빌 스피시와 반응하는 배리어층이 금속 산화물 세라믹 아래에 제공되어 기판 속으로 그리고 하부 전극을 통한 과잉 모빌 스피시의 확산을 방지 또는 감소시킨다. |
| 申请公布号 |
KR20010086117(A) |
申请公布日期 |
2001.09.07 |
| 申请号 |
KR20017007680 |
申请日期 |
2001.06.18 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
C04B35/497;C04B35/622;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8246;H01L27/105 |
主分类号 |
C04B35/497 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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