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发明名称 INTERLAYER BETWEEN TITANIUM NITRIDE AND HIGH DENSITY PLASMA OXIDE
摘要
申请公布号 KR20010086025(A) 申请公布日期 2001.09.07
申请号 KR1020017006049 申请日期 2001.05.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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