发明名称 MICROMACHINED MEMBERS COUPLED FOR RELATIVE ROTATION BY TORSIONAL FLEXURE HINGES
摘要
申请公布号 KR20010085627(A) 申请公布日期 2001.09.07
申请号 KR1020017002445 申请日期 2001.02.26
申请人 发明人
分类号 G01C19/00 主分类号 G01C19/00
代理机构 代理人
主权项
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