Turbomolekularpumpe

摘要

Die Erfindung beschreibt eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- (4) und Statorscheiben (6), wobei die Statorscheiben durch Distanzringen durch Distanzringe (8) auf Abstand gehalten werden und mit diesen zusammen das Statorpaket bilden. Zwischen mindestens zwei der Distanzringe (8) befindet sich jeweils ein elastisch verformbares metallisches Element (16). In mindestens einem Distanzring (12) kann eine axiale Nut (14) eingearbeitet sein, in welcher sich das elastisch verformbare Element (16) befindet.