Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Untersuchung streuender Objekte

摘要

Zur Optimierung der interferometrischen Untersuchung streuender Objekte schlägt die Erfindung ein Verfahren vor, bei dem intensitätsmoduliertes Licht strahlgeteilt sowohl in ein Objekt als auch auf einen Referenzspiegel gestrahlt wird und von beiden zurücklaufendes Licht einem Detektor zugeführt, durch diesen zu einem Interferenzsignal gewandelt und dieses ausgewertet wird. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet ist, daß das Licht zumindest zweier unterschiedlicher Zentralwellenlängen eingestrahlt wird und daß die gewandelten Interferenzsignale beider Zentralwellenlängen aufgrund ihrer erwarteten Dispersion gegeneinander verschoben werden. Die Erfindung sieht weiterhin eine Vorrichtung zum interferometrischen Untersuchungen streuender Objekte mit mindestens zwei intensitätsmodulierten Lichtquellen, einem optischen Koppler, einem Referenzspiegel und einer Empfangsanordnung im Lichtweg vor, bei der die Lichtquellen unterschiedliche Zentralwellenlängen haben und der Empfängeranordnung Digitalisierer zum Digitalisieren Interferenzsignale nachgeordnet sind sowie einen Verschiebereinheit zum gegeneinander Verschieben der Signale der Zentralwellenlängen vorgesehen ist.