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发明名称 Ion beam scanning system
摘要
申请公布号 EP0581440(B1) 申请公布日期 2001.09.05
申请号 EP19930304975 申请日期 1993.06.25
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BENVENISTE, VICTOR MAURICE
分类号 C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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